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返回電子潔凈車間的潔凈度和換氣標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

發(fā)布時(shí)間:2025-01-03 瀏覽次數(shù):59
  電子潔凈車間的潔凈度等級(jí)劃分  電子潔凈車間的潔凈度等級(jí)通常根據(jù)ISO 14...

  電子潔凈車間的潔凈度等級(jí)劃分  

電子潔凈車間的潔凈度等級(jí)通常根據(jù)ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)或類似的國(guó)際/國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)來(lái)劃分。ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)將潔凈度等級(jí)分為ISO 5至ISO 9級(jí),其中ISO 5級(jí)潔凈度更高,ISO 9級(jí)潔凈度更低。在電子凈化車間中,通常需要達(dá)到ISO 5至ISO 7級(jí)的潔凈度等級(jí),以保證電子產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量?! ?/p>

ISO 5級(jí):每立方米空氣中直徑大于0.5微米的塵埃顆粒數(shù)不超過(guò)3,520個(gè)。這一級(jí)別適用于對(duì)潔凈度要求極高的電子產(chǎn)品生產(chǎn),如半導(dǎo)體芯片制造等。在這些領(lǐng)域,任何微小的顆粒都可能對(duì)產(chǎn)品的性能和可靠性產(chǎn)生嚴(yán)重影響?! ?/p>

ISO 6級(jí):每立方米空氣中直徑大于0.5微米的塵埃顆粒數(shù)不超過(guò)8,830個(gè)。這一級(jí)別適用于對(duì)潔凈度要求較高的電子產(chǎn)品生產(chǎn)。雖然相較于ISO 5級(jí),ISO 6級(jí)的潔凈度略有降低,但仍然能夠滿足大多數(shù)高端電子產(chǎn)品的生產(chǎn)需求?! ?/p>

ISO 7級(jí):每立方米空氣中直徑大于0.5微米的塵埃顆粒數(shù)不超過(guò)29,300個(gè)。這一級(jí)別適用于一般潔凈度要求的電子產(chǎn)品生產(chǎn)。在ISO 7級(jí)潔凈度下,雖然空氣中的顆粒濃度相對(duì)較高,但仍然能夠確保產(chǎn)品的基本質(zhì)量和性能。  

電子潔凈車間的換氣標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范  

為了確保電子潔凈車間的潔凈度達(dá)到規(guī)定等級(jí),必須嚴(yán)格控制車間的換氣次數(shù)和換氣方式。換氣次數(shù)是指單位時(shí)間內(nèi)車間內(nèi)空氣被更新的次數(shù),它直接影響車間內(nèi)空氣的潔凈度和穩(wěn)定性?! ?/p>

換氣次數(shù)的確定:根據(jù)我國(guó)的《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB 50073-2001),不同級(jí)別的非單向流潔凈室潔凈送風(fēng)量計(jì)算所需的經(jīng)驗(yàn)換氣次數(shù)有所不同。對(duì)于層高小于4.0m的潔凈室,換氣次數(shù)應(yīng)根據(jù)潔凈度等級(jí)和室內(nèi)人數(shù)、熱源等因素來(lái)確定。一般來(lái)說(shuō),大于100,000級(jí)的潔凈室換氣次數(shù)不小于12次/小時(shí),而更高潔凈度等級(jí)的潔凈室則需要更高的換氣次數(shù)。  

換氣方式的選擇:電子潔凈車間的換氣方式通常包括單向流換氣和非單向流換氣兩種。單向流換氣是指空氣從潔凈區(qū)的一側(cè)流向另一側(cè),形成單向流動(dòng),適用于對(duì)潔凈度要求極高的場(chǎng)合。非單向流換氣則是指空氣在車間內(nèi)形成渦流或混合流動(dòng),適用于一般潔凈度要求的場(chǎng)合。在選擇換氣方式時(shí),應(yīng)根據(jù)車間的實(shí)際情況和潔凈度要求來(lái)確定?! ?/p>

空氣過(guò)濾系統(tǒng)的配置  

為了確保電子潔凈車間的潔凈度達(dá)到規(guī)定等級(jí),必須配置高效的空氣過(guò)濾系統(tǒng)??諝膺^(guò)濾系統(tǒng)通常包括初效過(guò)濾器、中效過(guò)濾器和高效過(guò)濾器(如HEPA過(guò)濾器或ULPA過(guò)濾器)等各級(jí)別的過(guò)濾器?! ?/p>

初效過(guò)濾器:初效過(guò)濾器是空氣過(guò)濾系統(tǒng)的道防線,主要用于去除空氣中的大顆粒污染物,如灰塵、毛發(fā)等。初效過(guò)濾器的過(guò)濾效率較低,但能夠有效地延長(zhǎng)后續(xù)過(guò)濾器的使用壽命?! ≈行н^(guò)濾器:中效過(guò)濾器位于初效過(guò)濾器和高效過(guò)濾器之間,用于去除空氣中的中等大小顆粒污染物。中效過(guò)濾器的過(guò)濾效率較高,能夠有效地去除空氣中的細(xì)菌、病毒等微生物。  高效過(guò)濾器:高效過(guò)濾器是空氣過(guò)濾系統(tǒng)的更后一道防線,用于去除空氣中的微小顆粒污染物,如塵埃粒子、病毒等。高效過(guò)濾器的過(guò)濾效率極高,能夠有效地確保車間內(nèi)空氣的潔凈度達(dá)到規(guī)定等級(jí)?! ?/p>

正壓控制與空氣流動(dòng)控制  

為了確保電子潔凈車間的潔凈度不受外部環(huán)境的影響,必須保持車間的正壓狀態(tài),并通過(guò)合理的空氣流動(dòng)控制來(lái)實(shí)現(xiàn)?! ?/p>

正壓控制:正壓控制是指通過(guò)調(diào)節(jié)車間的進(jìn)風(fēng)量和排風(fēng)量,使車間內(nèi)的氣壓高于外部環(huán)境的氣壓。這樣,外部空氣和污染物就無(wú)法通過(guò)門(mén)窗等縫隙進(jìn)入車間內(nèi),從而確保車間的潔凈度不受影響。為了實(shí)現(xiàn)正壓控制,通常需要配置正壓控制系統(tǒng)和壓差指示裝置。  

空氣流動(dòng)控制:空氣流動(dòng)控制是指通過(guò)合理布置進(jìn)風(fēng)口和排風(fēng)口,并通過(guò)風(fēng)機(jī)和風(fēng)道系統(tǒng)控制空氣的流向和速度。這樣,就能夠確保車間內(nèi)的空氣潔凈度均勻分布,避免出現(xiàn)局部污染的情況。為了實(shí)現(xiàn)空氣流動(dòng)控制,通常需要配置空氣流動(dòng)控制系統(tǒng)和風(fēng)速監(jiān)測(cè)裝置。  

溫濕度控制與微生物控制  

除了空氣過(guò)濾和換氣控制外,還需要嚴(yán)格控制車間內(nèi)的溫濕度和微生物含量,以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定性?! ?/p>

溫濕度控制:車間內(nèi)的溫度和濕度需要控制在適宜的范圍內(nèi),以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定性。一般來(lái)說(shuō),溫度應(yīng)控制在22℃±2℃的范圍內(nèi),相對(duì)濕度應(yīng)控制在55%±5%的范圍內(nèi)。為了實(shí)現(xiàn)溫濕度控制,通常需要配置除濕設(shè)備、溫度控制系統(tǒng)和加濕設(shè)備等?! ?/p>

微生物控制:微生物控制是指通過(guò)采取一系列措施來(lái)減少車間內(nèi)微生物的含量,以避免對(duì)產(chǎn)品造成污染。常見(jiàn)的微生物控制措施包括定期消毒、使用無(wú)菌操作工具、控制人員流動(dòng)等。此外,還可以通過(guò)配置微生物監(jiān)測(cè)裝置來(lái)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)車間內(nèi)的微生物含量,以便及時(shí)采取措施進(jìn)行處理。

上一條: 沒(méi)有了
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